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カスタム対応光学ユニット

| 多眼光学系 | fシータ組立品 | 遠赤外線用(IR)レンズユニット | UVレンズユニット |

 多眼光学系
1つの光学系の中に2つ以上の異なる倍率もしくは光学性能を持つ光学ユニットです。例えば、低倍率でワークの粗い位置合わせをし、高倍率で正確な位置合わせを行うなど様々な応用が可能となります。 イメージ:多眼光学系

<例〜上下2視野光学ユニット>
フリップチップボンダー等に使用されている光学ユニットです。上視野(チップ)と下視野(ダイ)の接合精度を確認するために、上下の視野を同時に計測することが可能になります。
図:例〜上下2視野光学ユニット


 fシータ組立品
レーザー光をポリゴンミラー(回転多面鏡)等で等速走査される場合に使用します。回転走査を直線走査に変換することから、y=f×シータ(シータ)という関係が成り立つため、俗称として f×シータ(シータ)=fシータ(エフシータ)レンズと呼ばれています。 写真:fシータ組立品


 遠赤外線用(IR)レンズユニット
  写真:遠赤外線用(IR)レンズユニット1
  写真:遠赤外線用(IR)レンズユニット2 写真:遠赤外線用(IR)レンズユニット3
赤外線透過材料であるシリコン、ゲルマニウムの研磨加工(大量生産)が可能です。
遠赤外線用(IR)レンズは温度計測用レンズユニットなどに使用されています。

<製造可能なレンズ形状及び大きさ>

形状 両凸レンズ、 両凹レンズ
平凸レンズ、 平凹レンズ
メニスカスレンズ
大きさ  5〜180mm


 UVレンズユニット
図:UVレンズユニット断面 写真:近紫外光検査装置
  UVレンズユニット断面   近紫外光検査装置
紫外線の散乱特性を利用し、可視光では見えにくかった透明体/金属表面のキズ・ゴミ・しみ等を高コントラストで観察できる事が特徴です。

「近紫外線(UV)用レンズ」
<仕様>
倍率 ×0.2〜×0.6
実効FNo 7.4〜10.2
物像間距離 176.1〜105.1mm
ワーキングディスタンス 132.0〜51.3mm
TVディストーション 0.1%以下
モニタ解像力 1000TV本以上
被写界深度 ±7mm(×0.2)〜±1mm(×0.6)
使用波長 320〜420nm
(設計基準波長365nm)
最大適合イメージサイズ 1/2インチ
マウント Cマウント
外形寸法 ファイ36×26.6(×0.2)〜
36.3mm(×0.6)
写真:近紫外線(UV)用レンズ

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