| 多眼光学系 |
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| 1つの光学系の中に2つ以上の異なる倍率もしくは光学性能を持つ光学ユニットです。例えば、低倍率でワークの粗い位置合わせをし、高倍率で正確な位置合わせを行うなど様々な応用が可能となります。 |
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<例〜上下2視野光学ユニット>
フリップチップボンダー等に使用されている光学ユニットです。上視野(チップ)と下視野(ダイ)の接合精度を確認するために、上下の視野を同時に計測することが可能になります。 |
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| fシータ組立品 |
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レーザー光をポリゴンミラー(回転多面鏡)等で等速走査される場合に使用します。回転走査を直線走査に変換することから、y=f× (シータ)という関係が成り立つため、俗称として f× (シータ)=f (エフシータ)レンズと呼ばれています。 |
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| 遠赤外線用(IR)レンズユニット |
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赤外線透過材料であるシリコン、ゲルマニウムの研磨加工(大量生産)が可能です。
遠赤外線用(IR)レンズは温度計測用レンズユニットなどに使用されています。
<製造可能なレンズ形状及び大きさ>

| 形状 |
両凸レンズ、
両凹レンズ
平凸レンズ、
平凹レンズ
メニスカスレンズ |
| 大きさ |
5〜180mm |
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| UVレンズユニット |
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紫外線の散乱特性を利用し、可視光では見えにくかった透明体/金属表面のキズ・ゴミ・しみ等を高コントラストで観察できる事が特徴です。 |
「近紫外線(UV)用レンズ」
<仕様>
| 倍率 |
: |
×0.2〜×0.6 |
| 実効FNo |
: |
7.4〜10.2 |
| 物像間距離 |
: |
176.1〜105.1mm |
| ワーキングディスタンス |
: |
132.0〜51.3mm |
| TVディストーション |
: |
0.1%以下 |
| モニタ解像力 |
: |
1000TV本以上 |
| 被写界深度 |
: |
±7mm(×0.2)〜±1mm(×0.6) |
| 使用波長 |
: |
320〜420nm
(設計基準波長365nm) |
| 最大適合イメージサイズ |
: |
1/2インチ |
| マウント |
: |
Cマウント |
| 外形寸法 |
: |
36×26.6(×0.2)〜
36.3mm(×0.6) |
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| 関連情報 |
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